[儋州变器之家]影响儋州变器阻系数的因素有哪些

    金属电阻应变儋州变器虽然有很多优点，但却存在一大弱点，就是灵敏系数低(约为2.0～3.6)。在20世纪50年代中期出现了半导体应变片制成的阻儋州变器，其灵敏系数比金属电阻儋州变器高几十倍，而且具有体积小、分率高、工作频带宽、机械迟滞小、儋州变器与测量电路可实现一体化等优点，因此在实际中得到了广泛的应用。

    阻儋州变器是基于半导体材料的阻效应原理工作的。当对半导体材料施加应作用时，半导体材料的电阻率将随着应的变化而发生变化，进而反映到电阻值也发生变化，因此它也属于一种电阻儋州变器。当半导体应变片受到外界应的作用时，其电阻(率)的变化与受到应的大小成正比，这就是阻儋州变器的工作原理。

    需要指出的是，对于不同的半导体，阻系数和弹性模量都不一样，所以灵敏系数也各不相同，影响阻系数的因素主要有：

1、应的作用方向

    由于半导体材料的各向异性，在实际应用中，随着外界应施加方向的不同其阻系数也是不同的。半导体材料的晶向通常采用密勒指数法，将晶向表示成三位由 0 和 1 组成的，并加方括号表示。 目前使用最多的是单晶硅半导体，实践表明，对于P型单晶硅半导体沿[111]晶向的阻系数最大，得到最大的阻效应，而沿[100]晶向的阻系数最小。对于N型单晶硅半导体，正好与之相反。对于这两种单晶硅半导体沿[110]晶向的阻系数仅比最大阻系数稍小些。
2、扩散杂质的表面浓度

    阻系数随扩散杂质浓度的增加而减小，表面杂质浓度相同时，P型硅的阻系数值比N型硅的(绝对)值高，因此选P型硅有利于提高敏感元件的灵敏度。 

3、环境

    表面杂质浓度低时，随升高，阻系数下降快；提高表面杂质浓度，随升高，阻系数下降趋缓。从影响看，扩散杂质的表面浓度高些好。提高扩散浓度也要降低阻系数，而且高浓度扩散时，扩散层 P型硅与衬底(膜片)N型硅间PN结耐击穿电也下降，从而使绝缘电阻下降。总之，实际应用时，需对阻系数、绝缘电阻以及的影响等诸因素综合加以考虑。